該儀器X軸、Z軸采用獨(dú)立運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),使用先進(jìn)的兩軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法,可實(shí)現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動(dòng)掃描,測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描(主動(dòng)掃描),既保持了恒測(cè)力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單,同時(shí)避免了崩針、掛針等問題??梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描,擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力,非常適合大范圍陡坡表面測(cè)量,大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整,就可實(shí)現(xiàn)輕松測(cè)量。
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